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簡(jiǎn)要描述:等離子清洗機1、采用射頻電源、自動(dòng)匹配器,一鍵式操控。2、低溫等離子體,能量低、密度高,適合處理特殊材料。3、無(wú)環(huán)境污染、無(wú)化學(xué)品消耗。4、可處理形狀復雜的材料,材料表面處理的均勻性好。5、適用性廣,各種材料、形狀都可以處理。
產(chǎn)品分類(lèi)
詳細介紹
品牌 | LEBO/雷博 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
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應用領(lǐng)域 | 能源,電子,綜合 |
設備的優(yōu)點(diǎn):
1、采用射頻電源、自動(dòng)匹配器,一鍵式操控。
2、低溫等離子體,能量低、密度高,適合處理特殊材料。
3、無(wú)環(huán)境污染、無(wú)化學(xué)品消耗。
4、可處理形狀復雜的材料,材料表面處理的均勻性好。
5、適用性廣,各種材料、形狀都可以處理。
腔體材質(zhì) 鋁合金
供電電源 AC220V、1000W
濺射電壓:MAX 2500V
濺射電流:MAX 30mA
靶材尺寸:直徑57mm,厚度0.1~0.5mm
電源功率 0-300W可調
射頻頻率 13.56MHz
真空度 ≤100Pa
氣體路數 2路
氣體流量 MFC氣體質(zhì)量流量計 500SCCM(可調)
控制 觸屏
清洗時(shí)間 1-6000s連續可調
處理尺寸:≤4寸
內腔尺寸 Φ147mm*145mm(直徑*深)
外形尺寸 500mm*525mm*365mm(寬*深*高)
重量 ≈38KG
真空泵 愛(ài)特VRD-4
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